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流量仪表及装配工具
气体压力控制器及气相色谱柱控制器
正压、背压及外部取压压力控制器，以及用于毛细管柱和填充柱的载气控制器。
- 量程
- −15 至 150 psig
规格
| 量程 | 10 sccm – 500 slpm |
|---|---|
| 气体 | 内置约 40 种气体及 10 种混合气 |
| 精度 | ±0.2% FS 级（视型号而定） |
| 接口 | 0 – 5 V 模拟量；RS-485 Modbus-RTU |
数值为整理自供应商文件的参考信息。最终牌号、标准、状态及检测值以报价及订单文件确认为准。
关键选型参数
- 气体及满量程
- 进口 / 出口压力
- 信号 / 通信
- 接头及接液材质
- 精度
典型应用
- 半导体及镀膜气路
- 实验室配气
- 燃料电池及电池测试台
