石墨及碳材料
晶体生长及 PECVD 用石墨热场部件
提纯石墨加热器、坩埚托、导流筒/热屏及 PECVD 石墨舟，用于硅、SiC、蓝宝石晶体生长及太阳能电池镀膜。
- 晶体生长
- CZ 单晶热场、加热器、多晶铸锭炉部件；PVT 及 HEM 部件
规格
| 隔热材料 | 硬毡筒及硬毡板、软毡、碳布、柔性石墨纸 |
|---|---|
| C/C 部件 | 加热器、料架、风扇叶片、螺栓、螺母及工装 |
| 供货形式 | 标准规格或按图纸加工 |
数值为整理自供应商文件的参考信息。最终牌号、标准、状态及检测值以报价及订单文件确认为准。
关键选型参数
- 材质类型
- 密度及厚度
- 工作温度 / 气氛
- 纯度 / 灰分
- 图纸
典型应用
- 真空及惰性气体炉隔热
- 晶体生长热场
- 热处理工装
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- 发热体、工装、料架、料舟及料盘
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