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石墨及碳材料
真空炉石墨部件及石墨模具
真空炉用石墨工装、发热体及料盘，以及连铸、热压、玻璃及金刚石工具用模具。
- 炉用部件
- 发热体、工装、料架、料舟及料盘
规格
| 晶体生长 | CZ 单晶热场、加热器、多晶铸锭炉部件；PVT 及 HEM 部件 |
|---|---|
| PECVD | 石墨舟及卡点、销钉、螺母和陶瓷垫片 |
| 纯度 | 提纯石墨，灰分 ≤ 5 ppm |
| 供货形式 | 按图纸加工；维修及更换套件 |
数值为整理自供应商文件的参考信息。最终牌号、标准、状态及检测值以报价及订单文件确认为准。
关键选型参数
- 石墨牌号及密度
- 纯度 / 灰分
- 图纸及公差
- 涂层（SiC / 热解碳）要求
- 适配炉型
典型应用
- 光伏及半导体晶体生长
- 太阳能电池 PECVD 镀膜
- SiC 及蓝宝石生长
