石墨及碳材料
晶体生长及 PECVD 用石墨热场部件
提纯石墨加热器、坩埚托、导流筒/热屏及 PECVD 石墨舟，用于硅、SiC、蓝宝石晶体生长及太阳能电池镀膜。
- 晶体生长
- CZ 单晶热场、加热器、多晶铸锭炉部件；PVT 及 HEM 部件
规格
| 等级 | UHP |
|---|---|
| 直径 | φ300 – 700 mm |
| 电阻率 | ≤ 6.2 – 6.3 μΩ·m（视规格而定） |
| 体积密度 | ≥ 1.66 g/cm³ |
| 灰分 | ≤ 0.3 – 0.5% |
数值为整理自供应商文件的参考信息。最终牌号、标准、状态及检测值以报价及订单文件确认为准。
关键选型参数
- 直径及长度
- 功率等级
- 接头类型
- 电阻率及密度
- 包装
典型应用
- 电弧炉炼钢
- 钢包精炼炉
- 硅及铁合金冶炼
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- 发热体、工装、料架、料舟及料盘
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